| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)테크윙 |
| 출원번호 |
10-2015-0146079 |
| 출원일 |
20151020 |
| 등록번호 |
10-2485396 |
| 등록일 |
20230102 |
| 내용 |
본 발명은 반도체소자를 테스트할 때 반도체소자를 테스터에 전기적으로 접속시키는 핸들러에 구비된 부속품을 검사하기 위한 검사장비에 관한 것이다.
본 발명에 따른 핸들러용 부속품을 검사하는 검사장비는, 검사위치에 있는 테스트트레이 또는 매치플레이트를 지지하는 지지장치; 테스트트레이들을 수납할 수 있는 수납장치; 상기 수납장치와 지지장치 간에 테스트트레이를 이동시키는 트랜스퍼장치; 검사위치에 있는 테스트트레이 또는 매치플레이트에 대한 검사를 수행하기 위한 검사장치; 및 상기 지지장치, 수납장치, 트랜스퍼장치 및 검사장치를 내부에 수용하는 케이스; 를 포함하고, 상기 케이스는 상기 지지장치를 전방으로 노출시키기 위한 제1 노출창과 상기 수납장치를 전방으로 노출시키기 위한 제2 노출창을 가진다.
본 발명에 따르면, 관리자의 선택에 따라서 제1 노출창으로 직접 테스트트레이나 매치플레이트를 공급할 수 있기 때문에 보다 빠른 장비의 운용의 가능해진다.
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