| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 그래핀랩 |
| 출원번호 |
10-2022-0036651 |
| 출원일 |
20220324 |
| 등록번호 |
10-2462723 |
| 등록일 |
20221031 |
| 내용 |
가) 기판상에 도금 레지스트를 패턴닝하여 형성하는 단계와, 나) 패터닝된 도금 레지스트 사이로 노출된 기판상에 금속 도금층을 형성하는 단계와, 다) 나)단계 이후 패터닝된 도금 레지스트를 제거하는 단계 및 라) 금속 도금층과 기판을 분리하는 단계를 포함하며, 가)단계에서는 도금 레지스트의 단면형상을 사다리꼴 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크 제조방법이 개시된다.
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