| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 그래핀랩 |
| 출원번호 |
10-2022-0038941 |
| 출원일 |
20220329 |
| 등록번호 |
10-2442672 |
| 등록일 |
20220906 |
| 내용 |
가) 기판상에 버퍼층을 형성하는 단계와, 나) 버퍼층 상에 금속층을 증착한 후 패터닝하는 단계와, 다) 패터닝된 금속층 상에 아모퍼스 카본층을 형성하는 단계와, 라) 금속층과 카본층을 교환시켜 버퍼층 상에 결정질 카본층을 형성시키는 단계와, 마) 외부로 노출된 아모퍼스 카본층을 제거하는 단계와, 바) 금속층을 제거하는 단계 및 사) 버퍼층과 결정질 카본층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소계 박막 쉐도우 마스크 제조방법이 개시된다.
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