| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 그래핀랩 |
| 출원번호 |
10-2022-0036652 |
| 출원일 |
20220324 |
| 등록번호 |
10-2442666 |
| 등록일 |
20220906 |
| 내용 |
가) 기판상에 도금 레지스트를 패턴닝하여 형성하는 단계와, 나) 패터닝된 도금 레지스트 사이로 노출된 기판상에 금속 도금층을 형성하는 단계와, 다) 나)단계 이후 패터닝된 도금 레지스트를 제거하는 단계와, 라) 금속 도금층과 기판을 분리하는 단계를 포함하며, 가)단계에서는 노광을 위한 광의 포커스 심도를 제어하여 도금 레지스트의 단면형상을 사다리꼴 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크 제조방법이 개시된다.
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