| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
육경식 |
| 출원번호 |
10-2020-0056299 |
| 출원일 |
20200512 |
| 등록번호 |
10-2315781 |
| 등록일 |
20211015 |
| 내용 |
본 발명은 기판을 슬라이드 이동시키면서 기판 표면의 이물질을 흡입 제거할 수 있고, 이물질의 흡입력에 의해 기판의 슬라이드 이동이 간섭되는 것을 방지하기 위한 건식 클리너에 관한 것이다.
이를 위해, 건식 클리너는 일면이 지지된 기판을 이동시키는 하부이동유닛과, 하부이동유닛과 마주보는 위치에 이격 배치되고 타면이 지지된 기판을 이동시키는 상부이동유닛과, 기판의 이동을 위해 하부이동유닛과 상부이동유닛 중 적어도 어느 하나를 동작시키는 롤러구동유닛과, 하부이동유닛과 상부이동유닛 중 적어도 어느 하나를 통해 이동되는 기판의 양면 중 적어도 어느 한 면의 이물질을 흡입하는 흡기유닛을 포함하되, 하부이동유닛의 이동궤도부재와 상부이동유닛의 이동궤도부재 중 적어도 어느 하나는 흡기유닛이 이물질을 흡입하는 위치에 대응하여 기판에 선 접촉 방식으로 지지되도록 줄 타입(line type) 또는 그물망 타입(mesh type)을 나타낸다.
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