| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 그래핀랩 |
| 출원번호 |
10-2022-0068288 |
| 출원일 |
20220603 |
| 등록번호 |
10-2790331 |
| 등록일 |
20250328 |
| 내용 |
본 발명의 바람직한 실시예에 의한 그래핀 코팅 몰드 제조 방법은, 기판 상에 그래핀을 합성하여 코팅하는 단계, 그래핀이 합성된 기판의 하면에 보호필름과 상면에 제1 TRF(Thermal release film)을 라미네이팅하는 단계, 보호필름과 제1 TRF가 라미네이딩된 기판을 이송하는 단계, 열처리로 기판의 상면에 라미네이팅된 제1 TRF를 제거하는 단계, 제1 TRF가 제거된 기판의 상면에 포토레지스트를 코팅하는 단계, 및 포토레지스트를 건조, 노광 및 현상하여 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 이로써, 얇으면서도 기계적 강도가 우수하고 전기 전도도도 좋은 그래핀을 사용하는 경우 파인 메탈 마스크 제조시 많은 장점이 있는데도 불구하고 그래핀 자체의 강한 이형특성으로 인해 패턴을 형성하기 어려웠던 문제를 해결하여, 그래핀의 특성을 활용하면서도 액상 포토레지스트를 코팅하여 건조, 노광 및 현상 공정을 통하여 그래핀의 이형특성을 극복하여 패턴을 견조하게 정착시켜 그래핀 코팅 몰드를 제조할 수 있게 된다.
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