| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)테크윙 |
| 출원번호 |
10-2014-0086134 |
| 출원일 |
20140709 |
| 등록번호 |
10-2120714 |
| 등록일 |
20200603 |
| 내용 |
본 발명은 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는 챔버부분의 내부에 있는 공기로부터 습기를 제거하기 위한 제습장치를 가진다.
따라서 제습장치에 의해 챔버부분의 내부에 있는 공기로부터 습기가 제거되기 때문에 저온 테스트에서 저온 테스트로의 전환이 빨라 가동률이 향상되고, 습기로 인한 구성 부품의 작동 불량이나 손상이 방지될 수 있다.
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