| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)테크윙 |
| 출원번호 |
10-2014-0042815 |
| 출원일 |
20140410 |
| 등록번호 |
10-2102830 |
| 등록일 |
20200414 |
| 내용 |
본 발명은 반도체소자를 테스트하는 데 사용하는 테스트핸들러 및 그 부속품과 테스터용 인터페이스보드에 관한 것이다.
본 발명에 따른 테스트핸들러는 반도체소자의 표면 저항을 측정하기 위해 반도체소자의 표면에 전기적으로 접촉할 수 있는 접촉부분을 가지며, 테스터용 인터페이스보드는 접촉부분과 전기적으로 연결될 수 있으면서 반도체소자의 표면 저항을 측정할 수 있는 신호를 출력하는 측정단자를 가진다. 여기서 테스트핸들러의 접촉부분은 푸싱장치나 테스트트레이와 같은 그 부속품에 구비될 수도 있다.
본 발명에 따르면 반도체소자의 표면 저항까지 측정할 수 있기 때문에 테스트에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
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