구분 |
특허 |
등록권자 |
황재은 |
출원번호 |
10-2018-0086055 |
출원일 |
20180724 |
등록번호 |
10-1944080 |
등록일 |
20190124 |
내용 |
본 발명은 형상측정기에 관한 것으로서, 구동본체(130)와; 피측정대상과 접촉하는 스타일러스(111)와, 상기 스타일러스(111)가 상기 피측정대상과 접촉하도록 상기 스타일러스(111)를 지지하는 암(113)을 갖는 측정암부(110)와; 상기 암(113)의 단부에 결합되는 측정암지지부(120)와; 상기 측정암지지부(120)를 상기 구동본체(130)에 대해 회동가능하게 지지하는 피봇(121)과; 상기 측정암지지부(120)가 피봇(121)에 대해 상하로 회동되게 하여 상기 스타일러스(111)가 상기 피측정대상을 따라 이동되도록 조절하는 액츄에이터부(140)를 포함하되, 상기 액츄에이터부(140)는, 격벽(141a)에 의해 상부공간과 하부공간으로 구획된 케이싱(141)과; 상기 케이싱(141)과 상기 측정암지지부(120)를 연결하는 암결합베이스(142)와; 상기 상부공간에 구비되는 상부액츄에이터(143)와; 상기 하부공간에 구비되는 하부액츄에이터(145)를 포함하며, 상기 상부액츄에이터(143)와 상기 하부액츄에이터(145)는 각각, 자석결합판(143a,145a)과; 상기 자석결합판(143a,145a)의 상부에 구비되는 제1자석(143b,145a)과; 상기 자석결합판(143a,145a)의 하부에 구비되는 제2자석(143c,145c)과; 상기 암결합베이스(142)와 결합되며 상기 자석결합판(143a,145a)을 감싸는 코일(143d,145d)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
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