| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
강원대학교산학협력단 |
| 출원번호 |
10-2017-0011764 |
| 출원일 |
20170125 |
| 등록번호 |
10-1919086 |
| 등록일 |
20181109 |
| 내용 |
본 발명은 다결정 실리콘 박막을 형성하기 위한 촉매로 작용하는 금속을 기판 상에 증착하는 금속층 증착단계;
상기 금속층 증착단계에서 증착된 금속층 상에 산화실리콘층을 증착하는 산화실리콘층 증착단계; 및 상기 금속층
증착단계 및 상기 산화실리콘층 증착단계를 통해 상기 금속층 및 산화실리콘층이 증착된 기판 상에 다결정 실리
콘 박막층이 형성되도록 열처리하는 어닐링 단계;를 포함하는 다결정 실리콘 박막 형성 방법을 제공한다.
|