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본 발명은 전자현미경의 이송 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대물렌즈가 설치되는 케이스의 하부에 설치되어 상기 대물렌즈 내부와 진공상태가 유지되도록 하는 진공챔버와, 진공챔버의 일측벽에 결합되는 플레이 트로서, 상기 플레이트의 일측에 일정형상의 관통공이 형성되며, 내측면이 상기 진공챔버의 일측 내측벽면으로 형성되는 베이스플레이트와, 상기 관통공이 밀폐되도록 상기 베이스플레이트의 외측면상에 밀착되는 밀착면이 형 성되고, 상기 베이스플레이트의 외측면에서 X축방향으로 축이동되는 이송베드와, 상기 관통공을 관통하여 상기 이송베드의 밀착면에 결합되며, 상기 관통공의 내부에서 Y축방향으로 축이동되는 구동로드와, 상기 진공챔버내에 서 상기 구동로드의 일측에 결합되어 상부에 시료가 안착되는 안착면이 형성되는 안착부를 포함하여 상기 관통공 을 둘러싸도록 상기 베이스플레이트의 외측면상에는 더브테일 단면형상의 오링 설치홈이 형성되고, 상기 오링 설 치홈상에 오링이 삽입된다. 상기와 같은 본 발명에 따르면, 이송 스테이지와 진공챔버간에 더브테일 단면 형상의 오링 설치홈에 설치되는 오 링에 의해 전자현미경의 진공챔버가 진공상태를 유지하면서도, 이송 스테이지의 백래시 현상을 최소화하여 이송 정확도가 높아 고정밀도의 검사가 이루어지도록 하는 효과가 있다.