| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
초이스테크닉스 주식회사 |
| 출원번호 |
10-2015-0101507 |
| 출원일 |
20150717 |
| 등록번호 |
10-1707853 |
| 등록일 |
20170213 |
| 내용 |
본 발명은 반도체 디바이스 검사용 마이크로 컨택 어레이 구조체에 관한 것으로, 일단이 반도체 디바이스의 단자
에 접촉하고 타단이 테스터의 테스트 기판에 접촉하여 상기 반도체 디바이스와 상기 테스터를 전기적으로 연결시
키며, 외력이 가해지는 방향으로 탄성 압축되어지는 다수의 마이크로 컨택소자; 상기 마이크로 컨택소자들의 양단부를 제외한 중단 부분을 감싸는 형태로 구비되어 상기 마이크로 컨택소자들을 탄성 압축이 가능하게 지지하는
지지부재; 및 상기 마이크로 컨택소자들의 일단을 수용하여 상기 반도체 디바이스 측으로 노출시키도록 상기 지
지부재에 결합되며, 상기 반도체 디바이스의 단자들이 상기 마이크로 컨택소자들의 일단에 접촉될 수 있도록 상
기 반도체 디바이스의 단자 위치를 안내하는 다수의 안내구멍이 형성된 안내부재;를 포함하며, 상기 마이크로 컨
택소자는 좌우 대칭되는 원형 또는 타원형의 탄성 압축부분을 포함하며, 상기 탄성 압축부분은 상기 지지부재에
수용되는 상기 마이크로 컨택소자의 중단 부분에 위치한다.
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