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등록특허현황

테스트핸들러
by 패스특허 \| Date 2016-08-01 16:55:58	hit 7,992

구분	특허
등록권자	(주)테크윙
출원번호	10-2013-0064204
출원일	20111208
등록번호	10-1644481
등록일	20160726
내용	1020110130698.pdf (444.5K) 본 발명은 테스트핸들러에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 정지장치 또는 제2 이송장치를 통해 테스트챔버에서 디소크챔버로 이송되는 테스트트 레이가 요구되는 정지위치에 정확히 정지될 수 있도록 하는 기술이 개시된다

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