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본 발명은 3차원 형상 측정 장치에 관한 것으로서, 검사 대상물을 지지하는 스테이지; 상기 검사 대상물에 조명 을 조사하는 적어도 하나 이상의 조명기구 상기 스테이지의 상부에 수직 방향으로 설치되어 상기 검사 대상물의 영상을 촬영하여 메인 영상 신호를 출력하는 메인 카메라; 상기 메인 카메라의 주위에 상호 대향되게 배치되어 복수의 서브 영상 신호를 출력하는 복수 개의 서브 카메라; 상기 복수 개의 서브 카메라의 사이에 사선 방향으로 배치되어 특정 패턴의 조명을 투사하는 프로젝터; 상기 프로젝터에서 투사되는 특정 패턴의 조명을 상기 검사 대 상물에 조사되도록 하는 하프 미러; 상기 메인 카메라 또는 상기 복수 개의 서브 카메라에서 전송되는 상기 영상 신호 또는 복수의 서브 영상 신호를 디지털 신호로 변환한 이미지 데이터를 출력하는 그래버; 상기 프로젝터의 조명 또는 조명 기구의 조명을 점등하고, 상기 각 조명의 밝기값을 설정하는 조명 구동부; 및 상기 그래버로부터 패턴 이미지 데이터를 전송받아 영상 처리하여 상기 검사 대상물의 형상에 대한 검사 결과 데이터를 제공하는 영 상 처리부를 포함한다. 따라서, 본 발명은 프로젝터를 복수 개의 서브 카메라 사이에 사선 방향으로 어디든지 배 치할 수 있고, 하프 미러를 이용하여 검사 대상물에 사선 형태의 패턴 조명을 조사하여 복수 개의 서브 카메라가 동시에 8장의 패턴 이미지를 획득하여 3D 검사를 수행하기 때문에 기존에 비해 이미지 촬영의 소요 시간이 1/4 또는 1/2로 줄어들 수 있고, 그만큼 비전 검사의 효율을 높일 수 있으며, 수직 방향의 메인 카메라를 통해 패턴 이 없는 평면 이미지를 획득하여 2D 검사를 수행할 수 있다.
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