| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 덕산유엠티 |
| 출원번호 |
10-2014-0070292 |
| 출원일 |
20140610 |
| 등록번호 |
10-1554718 |
| 등록일 |
20150915 |
| 내용 |
정제할 증착소재의 원료를 공급하기 위한 원료 공급부, 원료 공급부에서 공급되는 원료를 1차로 정제하는 1차 처
리부, 1차 처리부에서 처리된 증착소재를 2차로 정제 처리하는 2차 처리부, 2차 처리부의 상부에 설치되어 2차
처리부에서 기화되어 상승한 증착소재를 응축하는 콘덴서, 2차 처리부와 콘덴서 사이에 설치되어 응축된 증착소
재를 분류하여 선택적으로 배출하는 세퍼레이터, 세퍼레이터의 내부에 쌓인 초류를 배출하여 회수하기 위한 초류
회수부, 1차 처리부에서 처리되어 2차 처리부로 이동되는 배출라인 상의 증착소재를 샘플링하도록 연결되는 샘플
링부, 샘플링부에서 획득된 증착소재의 품질을 분석 및 평가하고 평가 결과의 결과에 따라서 정제공정의 순환 반
복 및 완제품의 생산을 선택적으로 제어하는 분석 및 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체소자용 증착
소재 정제시스템이 게시된다.
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