| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 비에이치에스티 |
| 출원번호 |
10-2023-0023328 |
| 출원일 |
20230222 |
| 등록번호 |
10-2764432 |
| 등록일 |
20250203 |
| 내용 |
개시된 본 발명의 기판 세정 장치는 서로 이격된 한 쌍의 이격 조절 가이드, 상기 한 쌍의 이격 조절 가이드의 양단부 중 일단부측에 하나가 슬라이드 이동 가능하게 결합되고, 상기 한 쌍의 이격 조절 가이드의 양단부 중 타단부에 다른 하나가 고정 결합되는 한 쌍의 조립 가이드, 상기 한 쌍의 조립 가이드 중 하나의 양단부에 형성되고, 상기 한 쌍의 이격 조절 가이드의 일단부측에 상기 한 쌍의 조립 가이드 중 하나의 위치를 선택적으로 고정시키는 고정부재 및 상기 한 쌍의 조립 가이드에 각각 결합되는 브러쉬를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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