등록특허현황

밀폐도어장치와 이것이 구비된 베이킹챔버 그리고 이것이 구비된 반도체 베이킹 시스템
by 패스특허 | Date 2025-01-16 10:03:19 hit 5
구분 특허
등록권자 주식회사 비에이치에스티
출원번호 10-2023-0064255
출원일 20230518
등록번호 10-2755541
등록일 20250110
내용

개시된 본 발명의 밀폐도어장치는 단위하우징에 회전 가능하게 결합되어 단위하우징에 개구된 입출개구를 개폐하는 밀폐도어장치이고, 회동부재를 매개로 단위하우징에 회전 가능하게 결합되는 회동도어 및 피벗부재를 매개로 회동도어에 회전 가능하게 결합되는 피벗도어를 포함하고, 피벗부재는 피벗도어에서 회동도어를 향해 돌출 형성되는 피벗브라켓 및 회동도어에 결합된 상태에서 피벗브라켓이 회전 가능하게 결합되거나 피벗브라켓에 결합된 상태에서 회동도어에 회전 가능하게 결합되는 피벗축을 포함한다.

 



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