구분 |
특허 |
등록권자 |
㈜토니텍 |
출원번호 |
10-2022-0060749 |
출원일 |
20220518 |
등록번호 |
10-2744246 |
등록일 |
20241213 |
내용 |
본 발명은 비전 검사부(12a, 12b)가 장착되며, 웨이퍼링(20) 및 반도체 패키지의 이송 방향을 결정하는 위치 결정부(30)가 마련되는 시스템 프레임(10); 다수개의 웨이퍼링(20)이 로딩 및 언로딩되는 매거진 로더부(100); 상기 위치 결정부(30)에 구성되며, 매거진 로더부(100)로부터 공급된 웨이퍼링(20)으로부터 패키지를 분리하고, 반도체 패키지의 제조 방식에 따라 상기 패키지의 이송 방향을 결정하는 워킹 테이블(200); 상기 워킹 테이블(200)에서 분리된 패키지를 흡착하는 픽커 어셈블리(302)를 양방향 이송시키는 픽커 이송부(300); 상기 픽커 어셈블리(302)로부터 픽업된 패키지가 안착되는 JEDEC 트레이(402)가 구비되며, 안착된 패키지를 이송시키는 JEDEC 트레이 구동부(400); 상기 JEDEC 트레이 구동부(400)에 의해 이송된 패키지를 메탈 캐리어(Metal Carrier: 508)에 적재시켜 로딩될 수 있도록 구성되며, 상기 메탈 캐리어(508)에 적재된 패키지를 상기 JEDEC 트레이 구동부(400)로 재공급될 수 있도록 인출시키는 캐리어 매거진부(500); 상기 캐리어 매거진부(500)으로부터 인출된 패키지의 팩킹 공정이 이루어지도록 구성되는 테이프 앤 릴 시스템(600); 및 비전 검사가 완료된 패키지, 또는 팩킹이 완료된 패키지가 적재되는 트레이부(700);를 포함하는 멀티 로더 및 언로더를 구비하는 올인원 타입의 픽 앤 플레이스 시스템을 제공한다.
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