| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)배큠올 주식회사 엠코 |
| 출원번호 |
10-2023-0107211 |
| 출원일 |
20230816 |
| 등록번호 |
10-2743411 |
| 등록일 |
20241211 |
| 내용 |
본 발명은 공정챔버와 진공펌프 사이의 가스배출통로에 구비되어 상기 가스배출통로를 개폐하는 게이트밸브 조립체에 관한 것으로서. 상부에 상기 가스배출통로와 연통되는 가스유입구(111a)가 구비되고, 하부에 상기 진공펌프와 연통되는 가스배출구(111b)가 구비되며, 일측면에 게이트출입슬릿(113)이 형성되고, 타측면에 오염방지바출입슬릿(115)이 형성된 가스이동챔버(110)와; 상기 게이트출입슬릿(113)과 연통되게 상기 가스이동챔버(110)의 일측에 구비되는 게이트수용챔버(120)와; 상기 오염방지바출입슬릿(115)과 연통되게 상기 가스이동챔버(110)의 타측에 구비되는 오염방지바수용챔버(130)와; 상기 가스유입구(111a) 보다 큰 면적을 갖게 구비되며, 상기 게이트수용챔버(120) 내부에 수용되어 상기 가스배출통로가 개방되게 하고, 상기 게이트수용챔버(120)로부터 상기 가스이동챔버(110)로 이동된 후 상기 가스유입구(111a)를 막아 상기 가스배출통로가 폐쇄되게 하는 게이트(140)와; 상기 게이트(140)가 상기 게이트수용챔버(120)와 상기 가스이동챔버(110) 사이를 전후로 이동되게 구동하는 게이트구동부(150)와; 상기 게이트(140)의 전방에 결합되어 상기 게이트(140)의 전후 이동에 연동하여 상기 가스이동챔버(110)와 상기 오염방지바수용챔버(130) 간을 이동하며, 상기 게이트(140)가 상기 게이트수용챔버(120)에 수용된 개방위치에서는 상기 게이트출입슬릿(113)과 상기 오염방지바출입슬릿(115)을 막아 공정가스가 상기 게이트수용챔버(120)로 유입되는 것을 차단하고, 상기 게이트(140)가 상기 가스이동챔버(110)에 수용된 폐쇄위치에서는 상기 오염방지바출입슬릿(115)을 막아 공정가스가 상기 오염방지바수용챔버(130)로 유입되는 것을 차단하는 오염방지바(160)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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