| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
김용석 정재윤 |
| 출원번호 |
10-2022-0185640 |
| 출원일 |
20221227 |
| 등록번호 |
10-2729514 |
| 등록일 |
20241108 |
| 내용 |
개시된 본 발명의 이방성 에칭 방법 및 그 이방성 에칭 방법에 사용되는 에칭 장치는 에칭기에 설치된 복수 개의 이송 롤러를 작동하여 기판을 이송하는 이송 단계, 상기 에칭기의 상측에 형성된 분사기를 통해 상기 기판에 에칭액을 분사하는 에칭 시작 단계, 상기 에칭 시작 단계에서 상기 기판에 에칭이 진행하기 시작하면, 상기 복수 개의 이송 롤러의 사이마다 설치된 대전체 중에 상기 에칭기의 상류측 이송 롤러의 사이에 설치된 상류 구역 대전체에 전압을 인가하는 상류측 전압 인가 단계, 상기 복수 개의 이송 롤러의 사이마다 설치된 대전체 중에 상기 에칭기의 중류측 이송 롤러의 사이에 설치된 중류 구역 대전체에 상기 상류 구역 대전체에 비해 점점 낮아지는 전압을 인가하는 중류측 전압 인가 단계 및 상기 복수 개의 이송 롤러의 사이마다 설치된 대전체 중에 상기 에칭기의 하류측 이송 롤러의 사이에 설치된 하류 구역 대전체에 상기 중류 구역 대전체에 비해 점점 낮아지는 전압을 인가하는 하류측 전압 인가 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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