| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)이노맥스 |
| 출원번호 |
10-2023-0007404 |
| 출원일 |
20230118 |
| 등록번호 |
10-2722910 |
| 등록일 |
20241023 |
| 내용 |
본 발명은 커버 락킹장치가 구비된 웨이퍼 건조용 드라이어에 관한 것으로,건조 공간(102)이 마련된 배쓰(100); 상기 건조 공간(102)으로 일정량의 IPA를 분사하는 IPA 노즐부재(230)가 장착되며, 상기 배쓰(100)의 상부를 개폐시키는 커버 회전수단(240)과, 상기 커버 회전수단(240)이 임의적으로 개방 작동이 이루어지는 것을 방지하는 커버 락킹수단(250)과, 상기 커버 락킹수단(250)을 가압하는 락킹 작동수단(270)이 구성되는 커버(200);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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