| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)이노맥스 |
| 출원번호 |
10-2023-0007405 |
| 출원일 |
20230118 |
| 등록번호 |
10-2722911 |
| 등록일 |
20241023 |
| 내용 |
본 발명은 건조 공간(102)이 마련되고, 상기 건조 공간(102)의 양측부에 각각 배치되어 질소가스를 분사하는 질소 노즐부재(120)가 구성된 배쓰(100); 히팅부재(180)와 연결되며, 상기 질소가스를 상기 질소 노즐부재(120)측으로 정량 분배하여 공급하는 질소 공급 안내부(110); 및 상기 배쓰(100)의 측부에 결합되며, 상기 건조 공간(102)의 내부 압력을 일정하기 유지시킬 수 있도록 건조 공간(102)와 연통되도록 결합되어 질소가스 및 IPA를 포함하는 건조매체가 유입되도록 구성되는 결합 브라켓(135)과, 이 결합 브라켓(135)의 내부로 유입되는 건조매체에 의해 승강 및 하강 작동이 이루어지는 작동수단(131)과, 작동수단(131)의 승강 작동시 건조매체를 배출하는 배출 안내블럭(136)을 포함하는 내압 유지수단(130);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
|