| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)이노맥스 |
| 출원번호 |
10-2023-0007520 |
| 출원일 |
20230118 |
| 등록번호 |
10-2711507 |
| 등록일 |
20240924 |
| 내용 |
본 발명은 초순수가 저장되는 배쓰(100); 상기 배쓰(100)의 내부에 회전 가능하게 결합되고, 승강하는 웨이퍼(10)를 파지하는 사이드 가이드(200); 및 상기 웨이퍼(10)의 하부면이 안착되며, 승강 및 하강 작동이 이루어지도록 구성되는 안착 하우징(310)과, 상기 안착 하우징(310)에 결합되며, 상기 웨이퍼(10)가 초순수와 분리가 이루어질 때 상기 초순수의 하향 이동을 안내하는 드롭바(320)를 포함하며, 상기 사이드 가이드(200)의 하부에 구성되는 웨이퍼 승강장치(300);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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