| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
육경식 |
| 출원번호 |
10-2022-0079391 |
| 출원일 |
20220629 |
| 등록번호 |
10-2710593 |
| 등록일 |
20240923 |
| 내용 |
기판에 접촉회전되면서 기판 상의 유체를 흡수하는 유체 흡수롤과, 유체 흡수롤에 접촉회전하도록 설치되며 유체 흡수롤에 흡수된 유체를 유체 흡수롤의 내부로 짜주는 스퀴즈롤 및 유체 흡수롤의 중앙에 설치되어 스퀴즈롤에 의해 짜지는 유체를 흡입하여 제거하는 유체 흡수부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 유체 제거장치가 개시된다.
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