구분 |
특허 |
등록권자 |
주식회사 두오텍 |
출원번호 |
10-2022-0146434 |
출원일 |
20221104 |
등록번호 |
10-2691985 |
등록일 |
20240731 |
내용 |
밀폐성이 향상된 슬라이딩 도어를 구비한 번인 테스트 장치가 개시된다. 개시된 번인 테스트 장치는, 수납된 다단의 반도체 기판에 대한 검사가 이루어지는 검사공간을 제공하는 테스트챔버; 상기 검사공간의 일측벽을 이루며, 공기유입공이 관통형성되어 상기 검사공간으로 공기가 유입되도록 하는 공기유입판넬부; 상기 검사공간의 타측벽을 이루며, 공기배출공이 관통형성되어 상기 검사공간에서 공기가 배출되도록 하는 공기배출판넬부; 상기 공기배출판넬부를 마주보도록 상기 공기배출판넬부의 후방으로 배치되어 상기 검사공간에서 배출된 공기를 흡입하고 상기 공기유입판넬부로 공기를 공급하는 송풍기; 상기 검사공간으로 공급되는 공기의 온도를 상승시키는 가열부; 상기 검사공간과는 구획되도록 구성되며, 상기 검사공간의 상부를 감싸도록 구성되어 상기 송풍기로부터 토출되는 공기가 상기 공기유입판넬부로 이동되는 유로를 형성하는 공기공급유로부; 상기 테스트챔버 전면를 개폐하는 슬라이딩 도어; 및, 상기 슬라이딩 도어에 대해 전후 이동가능하게 구성되어, 상기 슬라이딩 도어에 구성된 실린더 구동모듈에 의해 전진 구동되어 상기 검사공간의 전면으로 구성된 출입구를 차단하는 에어 차단 패널;을 포함하며, 상기 슬라이딩 도어의 전면부에는 브라켓이 고정설치되고, 상기 브라켓에는 전후 관통된 원통실린더 형태로 이루어진 제1축가이드가 고정설치되며, 상기 에어차단패널의 후단에 고정설치된 이동축이 상기 제1축가이드에 삽입되어 전후 이동되며 말단부가 상기 실린더 구동모듈의 신축로드과 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
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