| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 두오텍 |
| 출원번호 |
10-2022-0146433 |
| 출원일 |
20221104 |
| 등록번호 |
10-2691984 |
| 등록일 |
20240731 |
| 내용 |
공급공기 분배효율이 향상된 번인 테스트 장치가 개시된다. 개시된 공급공기 분배효율이 향상된 번인 테스트 장치는 반도체 기판을 다단으로 수납하고 수납된 다단의 반도체 기판에 대한 검사가 이루어지는 검사공간을 제공하는 테스트챔버; 상기 검사공간의 일측벽을 이루며, 공기유입공이 관통형성되어 상기 검사공간으로 공기가 유입되도록 하는 공기유입판넬부; 상기 검사공간의 타측벽을 이루며, 공기배출공이 관통형성되어 상기 검사공간에서 공기가 배출되도록 하는 공기배출판넬부; 상기 공기배출판넬부를 마주보도록 상기 공기배출판넬부의 후방으로 배치되어 상기 검사공간에서 배출된 공기를 흡입하고 상기 공기유입판넬부로 공기를 공급하는 송풍기; 상기 검사공간으로 공급되는 공기의 온도를 상승시키는 가열부; 상기 검사공간과는 구획되도록 구성되며, 상기 검사공간의 상부를 감싸도록 구성되어 상기 송풍기로부터 토출되는 공기가 상기 공기유입판넬부로 이동되는 유로를 형성하는 공기공급유로부; 상기 공기유입판넬부를 마주하며, 상하로 소정간격 이격되게 다단으로 구성되되, 상기 다단의 반도체 기판과 동일수로 가이드리브로 구성되어 상기 다단의 반도체 기판에 일대일로 대응되게 공기를 분배하여 공급되도록 하는 공기 분배가이드; 상기 공기공급유로부에 설치되며 상기 공기 분배가이드와 연결되도록 구성되어 상기 송풍기에서 공급되는 공기를 소정량씩 분할하여 상기 공기 분배가이드로 공급하는 유로 파티션 덕트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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