| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 비에이치에스티 |
| 출원번호 |
10-2023-0076160 |
| 출원일 |
20230614 |
| 등록번호 |
10-2688542 |
| 등록일 |
20240722 |
| 내용 |
개시된 본 발명의 이산화탄소 세정시스템은 세정대상이 안착된 제1트레이의 상부에 이산화탄소와 캐리어가스 중
적어도 이산화탄소를 분사하는 상부공급세정부를 포함한다. 이때, 상부공급세정부는 세정대상이 안착된 제1트레
이가 정위치되는 제1클린컨베이어 및 제1클린컨베이어의 상측에 슬라이드 이동 가능하게 결합되고, 세정대상이
안착된 제1트레이를 향해 이산화탄소와 캐리어가스 중 적어도 이산화탄소를 분사하는 제1상부클린유닛을 포함한
다.
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