| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)배큠올 |
| 출원번호 |
10-2022-0172888 |
| 출원일 |
20221212 |
| 등록번호 |
10-2677584 |
| 등록일 |
20240618 |
| 내용 |
본 발명은 공정챔버와 진공펌프 사이의 가스배출통로에 구비되어 상기 가스배출통로를 개폐하는 진자식 컨트롤밸브에 관한 것으로서, 상부에 상기 가스배출통로와 연통되는 가스유입구(111)가 구비되고, 하부에 상기 진공펌프와 연통되는 가스배출구(113)가 구비된 밸브본체(110)와; 상기 밸브본체(110)의 일측에 결합되는 커버(120)와; 상기 밸브본체(110)와 상기 커버(120) 내부를 회동하며 상기 가스배출구(113)를 닫거나 상기 가스배출구(113)를 개방하는 게이트(130)와; 상기 게이트(130)가 회동 및 상하로 승강하도록 상기 게이트(130)를 구동하는 게이트구동부(140)와; 상기 밸브본체(110)의 하부에 결합되며 상기 게이트구동부(140)를 내부에 수용하는 구동박스(150)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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