| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)이노맥스 |
| 출원번호 |
10-2023-0007402 |
| 출원일 |
20230118 |
| 등록번호 |
10-2800528 |
| 등록일 |
20250421 |
| 내용 |
본 발명은 건조 공간(102)이 마련되고, 상기 건조 공간(102)의 양측부에 각각 배치되어 웨이퍼(10)에 질소가스를 분사하는 질소 노즐부재(120)가 구성된 배쓰(100); 상기 배쓰(100)의 후방부에 구성되고, 상기 질소가스를 공급받아 상기 질소 노즐부재(120)측으로 분배할 수 있도록 히팅부재(180)와 연결되는 질소 공급 안내부(110); 건조 공간(102)으로 IPA를 공급하고, IPA의 공급 압력에 의해 임의적으로 개방되는 것을 방지하는 센서 가압부(150)가 구비되는 커버(140); 상기 질소 공급 안내부(110)와 동축선상에 위치하도록 상기 배쓰(100)에 결합되며, 상기 질소가스에 의해 건조가 이루어질 수 있도록 일정 각도 만큼 회전 작동이 이루어지면서 상기 웨이퍼(10)의 하부 원주면을 선택적으로 파지하는 사이드 가이드(200); 및 상기 웨이퍼 가이드(200)의 하부에 구성되어 상기 웨이퍼(10)가 안착되며, 상기 웨이퍼(10)의 건조 공정이 이루어지도록 승강 및 하강 작동하는 웨이퍼 승강장치(300);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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