구분 |
특허 |
등록권자 |
(주)테크윙 |
출원번호 |
10-2014-0046861 |
출원일 |
20140418 |
등록번호 |
10-2120837 |
등록일 |
20200603 |
내용 |
본 발명은 테스트핸들러에 관한 것이다. 본 발명에 따른 테스트핸들러는 디소크챔버 일 측 벽에 외기가 유입될 수 있는 유입구를 형성하고, 유입구를 개폐할 수 있는 개폐기를 구비한다.
본 발명에 따르면 상온의 외기가 다량으로 디소크챔버의 내부로 공급될 수 있기 때문에 고온 테스트 시에 디소크챔버 내의 반도체소자들이 빠른 시간 내에 온도 회복될 수 있고, 테스트 모드의 전환시에도 빠르게 대응할 수 있다.
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