| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)테크윙 |
| 출원번호 |
10-2014-0087276 |
| 출원일 |
20140711 |
| 등록번호 |
10-2123244 |
| 등록일 |
20200610 |
| 내용 |
본 발명은 반도체소자 테스트용 핸들러 및 인터페이스보드에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는 테스트챔버 측으로 핸들러에 결합된 테스터의 인터페이스보드를 온도조절하기 위한 온도조절장치를 가진다. 또한, 본 발명에 따른 인터페이스보드는 열전도체를 구비하여 핸들러로부터 오는 열기 또는 냉기를 받아 소켓들 및 설치판의 온도를 조절한다.
따라서 테스트모드의 전환이 빨라져서 테스터의 가동률이 향상될 수 있다.
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