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등록특허현황

반도체소자 테스트용 핸들러와 테스터용 인터페이스보드
by 패스특허 | Date 2020-06-15 14:53:34 hit 153
구분 특허
등록권자 (주)테크윙
출원번호 10-2014-0087276
출원일 20140711
등록번호 10-2123244
등록일 20200610
내용

본 발명은 반도체소자 테스트용 핸들러 및 인터페이스보드에 관한 것이다.


본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는 테스트챔버 측으로 핸들러에 결합된 테스터의 인터페이스보드를 온도조절하기 위한 온도조절장치를 가진다. 또한, 본 발명에 따른 인터페이스보드는 열전도체를 구비하여 핸들러로부터 오는 열기 또는 냉기를 받아 소켓들 및 설치판의 온도를 조절한다.

따라서 테스트모드의 전환이 빨라져서 테스터의 가동률이 향상될 수 있다. 

 



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