| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 넥스트솔루션 |
| 출원번호 |
10-2013-0142421 |
| 출원일 |
20131121 |
| 등록번호 |
10-1489373 |
| 등록일 |
20150128 |
| 내용 |
테스트 핸들러의 장치 본체에 설치되어 테스트 트레이로부터 테스트완료된 디바이스를 언로딩부의 빈 씨 트레이
로 옮겨주는 언로딩부 픽커헤드와, 언로딩부 픽커헤드에 승강 가능하게 설치되는 이물질 흡착모듈과, 이물질 흡
착모듈을 언로딩부 픽커헤드에 승강 가능하게 구동시키는 흡착모듈 승강유닛 및, 이물질 흡착모듈의 흡입부에서
흡입력이 발생되도록 하기 위한 고압의 압축공기를 공급하는 압축공기 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반
도체 장치용 테스트 핸들러의 트레이 이물질 제거장치가 개시된다.
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