| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
구정회 |
| 출원번호 |
10-2013-0098766 |
| 출원일 |
20130820 |
| 등록번호 |
10-1497105 |
| 등록일 |
20150223 |
| 내용 |
전자 현미경 및 전자 현미경을 이용한 영상 처리 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 전자 현미경은, 전자빔의
비점수차를 보정하는 비점수차 보정부, 전자빔의 초점을 조절하는 초점 보정부, 시료의 위치를 저배율인 경우 기
구적으로 자동 이동하고 고배율인 경우 이미지 쉬프트(Image Shift) 기능을 이용하여 전자빔을 전기적으로 미세
이동시키는 스테핑 모터, 및 스테핑 모터를 조절하여 시료의 위치를 이동하고, 시료의 위치 변화에 따라, 시료
표면을 관측한 영상에 대하여 일부 영역을 포함하는 윈도우를 설정하고 윈도우에 포함되는 각 지점의 밝기에 대
한 이계도함수를 이용하여 비점수차 보정값 및 최적 초점값을 산출함으로써 전자빔의 초점을 1차 조정하고 일부
영역의 각 픽셀별 대조비 차이가 최대가 되는 픽셀의 전류값과 기준값을 비교하여 전자빔의 초점을 2차 조정하도
록 비점수차 보정부 및 상기 초점 보정부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
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