| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
(주)배큠올 / 주식회사 강철테크 |
| 출원번호 |
10-2023-0073085 |
| 출원일 |
20230607 |
| 등록번호 |
10-2637091 |
| 등록일 |
20240208 |
| 내용 |
공정챔버와 진공펌프 사이의 가스배출통로에 구비되어 상기 가스배출통로를 개폐하는 진자식 컨트롤밸브에 관한
것으로서, 상부에 상기 가스배출통로와 연통되는 가스유입구(111)가 구비되고, 하부에 상기 진공펌프와 연통되는
가스배출구(113)가 구비된 밸브본체(110)와; 상기 밸브본체(110)의 일측에 결합되는 커버(120)와; 상기 밸브본체 (110)와 상기 커버(120) 내부를 회동하며 상기 가스배출구(113)를 닫거나 상기 가스배출구(113)를 개방하는 게이
트(150)와; 상기 가스유입구(111)와 상기 가스배출구(113) 사이에서 상하로 이동하며 상기 게이트(150)를 하부로
가압하여 가스의 누설이 방지되게 하는 실링링(130)과; 상기 실링링(130)이 상하로 이동하도록 상기 실링링(13
0)을 구동하는 실링링승강부(140)와; 상기 게이트(150)가 상기 가스배출구(113)를 개방하는 개방상태와 상기 가
스배출구(113)를 폐쇄하는 닫힘상태 간을 회동하며, 상기 실링링(130)의 가압여부에 따라 상기 게이트(150)가 탄
성적으로 일정높이 승강하도록 상기 게이트(150)를 구동하는 게이트구동부(160)와; 상기 밸브본체(110)와 상기
커버(120)의 경계영역의 하부에 결합되며 상기 게이트구동부(160)를 내부에 수용하는 구동박스(170)를 포함하는
것을 특징으로 한다.
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