| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
주식회사 비에이치에스티 |
| 출원번호 |
10-2022-0018259 |
| 출원일 |
20220211 |
| 등록번호 |
10-2638446 |
| 등록일 |
20240215 |
| 내용 |
본 발명은 스테이지모듈의 슬라이드 이동에 대응하여 진공가변라인의 길이를 가변시키는 한편, 진공가변라인의 처짐을 방지하기 위한 진공펌핑라인 메커니즘에 관한 것이다. 이를 위해, 진공 펌핑라인 메커니즘은 흡착력이 작용하는 스테이지모듈에 결합되어 제품패널을 흡착 고정하기 위한 흡착력을 상기 스테이지모듈 쪽으로 전달하되, 상기 스테이지모듈의 슬라이드 이동에 대응하여 직선 형태로 길이 조절이 가능한 진공가변라인을 포함한다. 진공가변라인은 흡착력을 제공하는 진공펌핑모듈에 결합되고 흡착력이 전달되는 가변전달유로가 관통 형성되는 전달실린더 및 전달실린더와 슬라이드 이동 가능하게 끼움 결합된 상태에서 스테이지모듈과 결합되고 가변전달유로와 연통되어 흡착력이 전달되는 진공가변유로가 관통 형성되는 가변실린더를 포함한다.
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