| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
구정회 |
| 출원번호 |
10-2013-0166221 |
| 출원일 |
20131227 |
| 등록번호 |
10-1539738 |
| 등록일 |
20150721 |
| 내용 |
시료분석 챔버와, 시료분석 챔버 내부에 설치되어 검사할 시료를 지지하는 시료 스테이지, 시료분석 챔버에 설치
되어 시료 스테이지로 시료의 단면을 제작하기 위한 이온 빔을 조사하는 이온 건과, 시료분석 챔버에 연결되며
시료로 전자빔을 주사하는 주사전자 경통유닛, 이온 건과 시료 장착스테이지 사이에 설치되어 시료 스테이지에 놓인 시료의 단면 제작지점을 결정하는 차폐판과, 차폐판을 지지하여 미세 위치 조정 가능하도록 시료분석 챔버
내 스테이지에 장착되는 차폐판 위치조정기, 이온 건에서 조사되는 이온 빔에 의한 시료의 단면제작 상태를 검출
하고 단면제작 후에는 주사전자 경통유닛에서의 전자빔의 주사에 의한 시료의 단면을 관찰하는 검출기, 시료 스
테이지와 이온빔의 주사방향이 직교하는 단면 제작위치와 시료 스테이지와 전자빔의 주사방향이 평행한 단면 관
찰위치 사이에서 시료 스테이지의 위치 및 자세를 변경하기 위한 스테이지 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하
는 듀얼 빔 주사전자현미경이 게시된다.
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