| 구분 |
특허 |
| 등록권자 |
구정회 |
| 출원번호 |
10-2014-0002518 |
| 출원일 |
20140108 |
| 등록번호 |
10-1540721 |
| 등록일 |
20150724 |
| 내용 |
시료 분석챔버 내의 스테이지 상에 설치되는 시료 홀더, 시료 홀더의 상부의 전자빔 투과위치에 배치되며 시료가
부착되는 미세 공극이 형성된 미세 메쉬부재와, 미세 메쉬부재를 시료 홀더의 상부에 고정하는 커버부재와, 시료
홀더의 미세 메쉬부재의 하부에 설치되어 미세 메쉬부재를 투과한 전자를 시료 분석챔버 내에 설치되는 검출기로
반사시키는 투과전자 반사부재 및, 미세 메쉬부재의 하부에 위치되도록 시료 홀더에 설치되어 미세 메쉬부재를
통과한 전자빔의 확산을 방지하는 미세 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자 현미경의 영상 구현장치
가 개시된다.
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